528.4/С26 Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения : монография / В. С. Корнеев, Д. В. Чесноков. — Новосибирск : СГУГиТ, 2022. — 171 с. уч/аб
Просмотреть >>>